主動(dòng)隔振臺是由電氣進(jìn)行控制，通過(guò)反向力進(jìn)行消除振動(dòng)，通過(guò)傳感器進(jìn)行檢測振動(dòng)的頻率，持續產(chǎn)生振動(dòng)的隔離狀態(tài)，有效進(jìn)行消音作用。而被動(dòng)隔振臺是由機械的裝置進(jìn)行控制，利用彈簧的彈性體進(jìn)行有效減少振動(dòng)，這一系列的流程是由氣動(dòng)系統實(shí)現的。
工作原理：
安裝有測量和制造設備的地板或多或少會(huì )有振動(dòng)。如果這些振動(dòng)對設備造成不利影響，有效的解決方案則是使用隔振臺（減振臺），以便營(yíng)造適合該設備的條件。使用電氣控制，通過(guò)對傳入振動(dòng)施加反方向的力來(lái)立即消除振動(dòng)。傳感器不斷監測振動(dòng)，并基于該信息，執行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，并繼續產(chǎn)生的振動(dòng)隔離狀態(tài)。它擅長(cháng)于10Hz以下的低頻范圍內的隔振。
內部結構有彈簧零件，主要目的是利用可變形的作用進(jìn)行吸收能量，從而減少設備上的振動(dòng)，雖然效果很好，但共振放大之后就會(huì )有些嚴重；除此之外，還有橡膠材質(zhì)，跟彈簧的一樣，主要是通過(guò)變形吸收熱量，不同的是，橡膠能吸收各個(gè)方向的；就是一個(gè)氣動(dòng)平臺的系統，通過(guò)壓縮空氣活塞來(lái)減少地面的振動(dòng)。
主動(dòng)隔振臺采用的隔振技術(shù)，適用于任何研究情況下，可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動(dòng)，包括水平和垂直方向。平臺利用控制器內的壓電加速度傳感器來(lái)傳感外界傳入的振動(dòng)，通過(guò)將外界的壓力信息轉換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來(lái)消除傳入振動(dòng)。隔振系統利用一個(gè)反饋回路來(lái)消除隔振系統的機械共振?？蔀閷?shí)驗室中對震動(dòng)敏感的設備如電鏡，光學(xué)器件等精密儀器隔離來(lái)自地面的震動(dòng)，提供穩定的測試環(huán)境。
應用范圍：
超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）
光刻工具
高精度計量工具
光譜儀器
