主動(dòng)隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動(dòng)減震系統，可在寬頻率范圍內為電子顯微鏡和類(lèi)似的大型研究?jì)x器提供業(yè)界的主動(dòng)隔振性能（從0.5Hz開(kāi)始）。平臺通過(guò)消除影響測量的破壞性低頻振動(dòng)噪聲，幫助用戶(hù)從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺采用了低調的模塊化設計，無(wú)需為大多數儀器（包括大多數SEM）安裝所需的升降設備，從而簡(jiǎn)化了安裝過(guò)程。有利于為基礎研究、應用研究、生產(chǎn)等領(lǐng)域所用精密儀器創(chuàng )造穩定的測量環(huán)境。
工作原理：
通過(guò)對傳入振動(dòng)施加反方向的力來(lái)立即消除振動(dòng)。傳感器不斷監測振動(dòng)，并基于該信息，執行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，并繼續產(chǎn)生的振動(dòng)隔離狀態(tài)。主動(dòng)式隔振臺擅長(cháng)于10Hz以下的低頻范圍內的隔振。
主動(dòng)隔振臺采用隔振技術(shù)，適用于任何研究情況下，可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動(dòng)，包括水平和垂直方向。平臺利用控制器內的壓電加速度傳感器來(lái)傳感外界傳入的振動(dòng)，通過(guò)將外界的壓力信息轉換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來(lái)消除傳入振動(dòng)。隔振系統利用一個(gè)反饋回路來(lái)消除隔振系統的機械共振?？蔀閷?shí)驗室中對震動(dòng)敏感的設備如電鏡，光學(xué)器件等精密儀器隔離來(lái)自地面的震動(dòng)，提供穩定的測試環(huán)境。
性能優(yōu)勢：
1、系統主動(dòng)檢測輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除；
2、六個(gè)空間方向的自由隔振；
3、系統內部反饋回路抑制所有機械共振；
4、低頻隔振性能；
5、無(wú)低頻共振、無(wú)空氣要求。
